Die zentralen Bauteile hybrider, d.h. gemischt aufgebauter Mikroschaltungen sind Widerstande, Kondensatoren und Leiterbahnen in Dick-oder Dunnschichttechnik. Zusatzliche Elemente, zu denen insbesondere Einzelhalbleiter und integrierte Schaltkreise gehoren, setzt man durch ein Bondverfahren in die Schichtschaltung ein. In diesem Buch werden die Herstellungsverfahren fur Schichtbauteile, deren Eigen schaften und die Hybridierung der Schaltung, nicht aber Fragen der Halbleitertech nik behandelt. Der Band soll dem lngenieur oder Physiker eine EinfUhrung in die hybride Schichttechnik bieten, ihn...