This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle. The travel of the investigated actuator systems is on the order of several millimeters. The total construction size of the actuator is on the range of several centimeters whereas essential structures being several micrometers. The methods and the production technologies that are investigated on the...

Die Mikromechanik, die sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung von dreidimen sionalen mechanischen Strukturen und Systemen mit Abmessungen im Mikrometerbe reich befasst, hat in den vergangenen Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen und steht an der Schwelle zur breiten industriellen Anwendung. Ihr Einsatz fuhrt zu Quali tats-und Leistungssteigerungen in vielen Bereichen der modernen Technik. An Stelle der konventionellen Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik nutzt die Mikro mechanik den Technologievorrat der Mikroelektronik, vor allem das Konzept der hoch genauen Strukturubertragung...

Die Mikromechanik, die sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung von dreidimen sionalen mechanischen Strukturen und Systemen mit Abmessungen im Mikrometerbe reich befasst, hat in den vergangenen Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen und steht an der Schwelle zur breiten industriellen Anwendung. Ihr Einsatz fuhrt zu Quali tats-und Leistungssteigerungen in vielen Bereichen der modernen Technik. An Stelle der konventionellen Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik nutzt die Mikro mechanik den Technologievorrat der Mikroelektronik, vor allem das Konzept der hoch gen auen Strukturubertragung...