Filmes finos de diamante CVD : Estudo da incorporação de boro por XPS

ISBN-13: 9783330996632 / Portugalski / Miękka / 2017 / 176 str.

Rosana Alves Gonçalves

Opis

Diamante dopado com boro (BDD) é um semicondutor do tipo p com propriedades únicas e aplicações na mecânica, eletrônica, eletroquímica e biomedicina. Considerando as aplicações do BDD é fundamental entender o mecanismo de incorporação do boro na estrutura do diamante para o aperfeiçoamento da produção desse material. Neste trabalho, foram estudados os efeitos da incorporação de CH4 e Ar na incorporação de boro em filmes de diamante micro e nano-cristalino crescido pelo método CVD. As amostras foram analisadas por Microscopia Eletrônica de Varredura, Espectroscopia Raman e Difração de Raios X, Mott Schottky Plot e, especialmente, Espectroscopia de Fotoelétrons Excitados por Raios X (XPS). As medidas de XPS foram realizadas em dois modos de varredura distintos e mostraram resultados importantes sobre a incorporação de boro em BDD. O livro ainda apresenta uma ampla revisão bibliográfica sobre o crescimento e dopagem de diamante CVD e as técnicas de caracterização utilizadas. Este trabalho é fundamental para pesquisadores da área de Engenharia de Materiais especialmente para aqueles envolvidos com a produção, caracterização e aplicação de BDD.

O autorze

A autora é graduada em Licenciatura em Física pelo IFNMG (2014) e mestre em Engenharia e Tecnologia Espaciais pelo INPE (2016) atuando na produção e caracterização de filmes de diamante dopado com boro. Atualmente, cursa o doutorado em Física na UNESP onde tem trabalhado na produção e caracterização de nanoestruturas de óxidos de Sn e Sb.