Crescimento de filmes finos de NiFe por magnetron sputtering » książka
Crescimento de filmes finos de NiFe por magnetron sputtering
ISBN-13: 9783639746327 / Portugalski / Miękka / 2015 / 92 str.
Sensores baseados em magnetorresistencia anisotropica sao promissores para medidas de posicao tanto angulares quanto lineares. Estes dispositivos normalmente possuem a estrutura Ta/NiFe/Ta com a espessura da camada de NiFe sendo da ordem de 10 nm. Neste trabalho, propomos verificar se e possivel aumentar a variacao percentual da resistencia e a sensibilidade, para estruturas com boa estabilidade termica, simplesmente acrescentando uma etapa de oxidacao apos o crescimento de cada camada. Estudamos a influencia dos parametros de deposicao nas propriedades estruturais e magneticas das amostras e otimizamos o crescimento de filmes finos de NiFe pela tecnica de "magnetron sputtering." Verificamos a influencia do tratamento termico nas propriedades estruturais de nanoestruturas do tipo Ta/NiFe/Ta submetidas, ou nao, a oxidacao das interfaces. Observamos que a nanocamada de oxido de tantalo pode desempenhar o papel esperado, todavia, a qualidade cristalina das camadas de NiFe gera valores quantitativos de magnetorresistencia menores que os encontrados na literatura."
Sensores baseados em magnetorresistência anisotrópica são promissores para medidas de posição tanto angulares quanto lineares. Estes dispositivos normalmente possuem a estrutura Ta/NiFe/Ta com a espessura da camada de NiFe sendo da ordem de 10 nm. Neste trabalho, propomos verificar se é possível aumentar a variação percentual da resistência e a sensibilidade, para estruturas com boa estabilidade térmica, simplesmente acrescentando uma etapa de oxidação após o crescimento de cada camada. Estudamos a influência dos parâmetros de deposição nas propriedades estruturais e magnéticas das amostras e otimizamos o crescimento de filmes finos de NiFe pela técnica de "magnetron sputtering". Verificamos a influência do tratamento térmico nas propriedades estruturais de nanoestruturas do tipo Ta/NiFe/Ta submetidas, ou não, à oxidação das interfaces. Observamos que a nanocamada de óxido de tântalo pode desempenhar o papel esperado, todavia, a qualidade cristalina das camadas de NiFe gera valores quantitativos de magnetorresistência menores que os encontrados na literatura.
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