1. Einleitung.- 2. Ioneninduzierte Röntgenemission.- 3. Spurenelementanalyse durch ioneninduzierte Röntgenemissionsspektroskopie.- 4. Analyse mit einem externen Protonenstrahl.- 5. Untersuchung der Flächenverteilung von Spurenelementen mit einer Protonen-Mikrosonde.- 6. Diskussion.- Bildanhang.