Izmereniya mikrorazmerov v jelektronnom mikroskope

ISBN-13: 9786202075916 / Rosyjski / Miękka / 2017 / 76 str.

Arkadij Nikitin

Opis

Avtor knigi - izvestnyj Rossijskij uchjonyj, rabotavshij vo mnogih nauchno-proizvodstvennyh organizaciyah RF i po kontraktu prorabotavshij v SShA 5 let na firme "Nanometrology", NY - delitsya vpechatleniyami o sostoyanii del v oblasti kontrolya razmerov detalej sovremennyh SBIS s nanometrovymi proektnymi normami. Vyvod avtora odnoznachen: problema eshhjo ne reshena! Put' chitatel' zaglyanet v razdel knigi Matching i ubeditsya sam!

O autorze

Ya rodilsya v Kurskoj oblasti Rossii 7 yanvarya 1936 g. S 1953 po 1958 g - student Leningradskogo Universiteta. Zatem rabota na predpriyatiyah, uchjoba v aspiranture Akademii Nauk SSSR, zashhita kandidatskoj dissertacii a v 1992 g- zashhita doktorskoj dissertacii po fiz-mat. naukam. Spisok moih pechatnyh trudov soderzhit bolee 140 nazvanij.