Estudo da deposição química de Níquel em Microeletrônica : Deposição química autocatalítica em dispositivos e circuitos integrados

ISBN-13: 9783330735996 / Portugalski / Miękka / 2016 / 128 str.

Angelo Eduardo Battistini Marques

Opis

Neste trabalho mostramos o estudo e a caracterização de diversos processos de deposição química autocatalítica de níquel para aplicações em microeletrônica e nanotecnologia. São mostrados processos de deposição química por diversas técnicas, bem como os resultados de análises de composição química, rugosidade superficial e espessura de filmes de Níquel e ligas Níquel-Fósforo pelas técnicas de RBS, AFM, TRXFA. Também é mostrada a caracterização elétrica de capacitores MOS construídos com essa técnica de deposição.

O autorze

Possui graduação em Engenharia Elétrica pela Escola de Engenharia Mauá, mestrado e doutorado em MIcroeletrônica pela Universidade de São Paulo. Atualmente é Pesquisador e Professor Titular da Universidade São Judas Tadeu, sua principal linha de pesquisa atualmente é a Aprendizagem Ativa para graduação em Engenharia.