ISBN-13: 9783639094305 / Niemiecki / Miękka / 2009 / 80 str.
ISBN-13: 9783639094305 / Niemiecki / Miękka / 2009 / 80 str.
In der Vakuumtechnik wird das Prozessverhalten durchPartikel negativ beeinflusst. Eine Quelle für dieEntstehung von Partikeln ist der Dichtbereich desVentils. In dieser Arbeit wurde das Verhalten eines bestimmtenDichtmaterials (Viton) beim Abdichtvorganguntersucht. Durch verifizierte Simulationen wurdenKraft-Weg-Kennlinien generiert, die für diekonstruktive Auslegung des Vakuumventils und dessenAntriebseinheiten verwendet werden.Von signifikanter Bedeutung ist das Verhalten desDichtwerkstoffes während des Schliessvorganges. Umdas Materialverhalten beschreiben zu können, wurdenMaterialversuche durchgeführt. Diese Kennwertebildeten die Grundlage der Finite ElementeSimulation. Simuliert wurde das Dichtmaterial inverschiedenen Dichtnuten (Geometrie und Dimension).Die Simulation konnte durch entsprechende Messdatenverifiziert werden.Eine wichtige Messdatenquelle ist hierbei das ESPI(Electronic Speckle Pattern Interferometry)Verfahren. Durch dieses Verfahren ist es möglich,Verschiebungen des Dichtmaterials in der Dichtnut zumessen.Durch diese Arbeit konnte ein verifiziertesSimulationsmodell für Viton zur Verfügung gestelltwerden.