1. Einleitung und Aufgabenstellung.- 2. Literaturübersicht.- 3. Allgemeine Bedingungen zur Herstellung von Aufdampfschichten und Beschreibung der Versuchsanordnung.- 4. Elektronenmikroskopische und Elektronenbeugungsuntersuchungen der Aufdampfschichten.- 5. Versuchsdurchführung.- 6. Versuchsergebnisse.- 7. Zusammenfassung.- 8. Literaturverzeichnis.