Präparation lateral strukturierter magnetischer Schichten mittels Laser-Interferenz-Lithographie

ISBN-13: 9783838614175 / Niemiecki / Miękka / 1999 / 104 str.

Peter Kimmel

Opis

Inhaltsangabe: Einleitung: Das Studium der Eigenschaften von nanostrukturierten magnetischen Filmen hat in den letzten Jahren ein zunehmendes Interesse erfahren, vor allem im Hinblick auf kunftige neue Anwendungen in Form magnetischer Speicher oder Sensoren. Ein Ziel ist die Verkleinerung der Lesekopfe von Festplatten, bei denen zur Zeit Flachen mit mehreren Mikrometern Ausdehnung zur Speicherung eines Bits beschrieben werden mussen. Das Volumen der weltweit ausgelieferten magnetischen Festplatten-Speicherkapazitat steigt um ca. 40 % jahrlich, alle drei Jahre verdoppelt sich die Speicherdichte Si95]. Ein neues Konzept zum Erzielen hoherer Speicherdichten ist etwa die von Chou et al. vorgeschlagene sogenannte "Quantendisk," bei der jedes Bit durch eine separate Einzeldomane reprasentiert wird. Die Definition der Bitpositionen schon beim Herstellungsproze wurde neben dem Vorteil kleinerer Schreib-/Lesekopfe deren prazisere Positionierung erlauben und wurde den Einflu durch Nachbarbits wegen des nichtmagnetischen Materials zwischen diesen 1-Bit-Inseln reduzieren. Eine weitere zentrale Anwendung werden MRAMs sein (magnetisches Random-Access-Memory), deren Entwicklung jetzt von mehreren fuhrenden Herstellern magnetischer Speicher intensiv in Angriff genommen wird. Fur eine weitere Verkleinerung der Strukturen mussen jedoch zunachst detaillierte Untersuchungen verschiedenster Probengeometrien und der dabei neu auftretenden Phanomene durchgefuhrt werden, wobei periodische Strukturen niedriger Dimensionalitat mit Ausdehnungen von etwa 5 pm bis hinunter zu atomaren Groenordnungen von Interesse sind. Neben Drahten (Streifen) und Inseln (kleinen scheibenformigen Flachen) werden dabei auch gezielt Probenbereiche mit ferromagnetischen Saulen oder mit kurzen Streifen hergestellt, wodurch sich definierte Magnetisierungsrichtungen und Domanenformen erzeugen lassen. Gegenstand der Arbeit ist der Aufbau eines interferenzlithographischen Verfahrens, mit dem Streifen- und Inselstr