Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen

ISBN-13: 9783540176701 / Niemiecki / Miękka / 1991 / 500 str.

Gunter Schumicki; Peter Seegebrecht; G. Schumicki

Opis

Prozetechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunachst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturubertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze fur die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

Spis treści

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.