Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelkontamination von Reinstgasversorgungskomponenten

ISBN-13: 9783540655626 / Niemiecki / Miękka / 1999 / 114 str.

Johann Dorner

Opis

Die vorliegende Arbeit entstand wiihrend meiner Tiitigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA). Stuttgart. Als Danke schon fUr den groBen Rtickhalt wiihrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Ulrike. meinen Schwiegereltem sowie meinen verstorbenen Eltem. Herm Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. E. Westkiimper danke ich fUr die wohlwollende Unter sttitzung und Forderung meiner Arbeit. B. Hofflinger ftir die Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herm Professor Dr. rer. nat. Durchsicht und Ubemahme des Mitberichts. Ftir die Untersttitzung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herm Dr.-Ing. B. Klumpp. Herm Dr.-Ing. M. Schweizer und Herm Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. mult. R.D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl.-Ing. A. Filipovic und Dipl.-Ing. P. Fode fUr die intensiven Fachgesprache. Kritik und Untersttitzung. Einen besonderen Dank mtichte ich auch den Herren Dipl.-Ing. D. Werner und Dipl.-Ing. B. Mtiller fur ihre ausdauemde Diskussions bereitschaft wiihrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen."

Spis treści

0 Abkürzungen und Formelzeichen.- 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Reinstgasversorgung.- 2.2.1 Reinstgase.- 2.2.2 Reinstgasversorgungssysteme.- 2.2.3 Reinstgasversorgungskomponenten.- 2.3 Künstliche Partikelerzeugung.- 2.4 Prüfung der Partikelkontamination in Reinstgasversorgungskomponenten.- 2.4.1 Partikelmeßtechnik.- 2.4.2 Prüfverfahren.- 3 Analyse der Randbedingungen für das Prüfverfahren.- 3.1 Anwendungen und Einsatzgebiete für das zu entwickelnde Prüfverfahren.- 3.2 Partikelverhalten und Systemdynamik von Reinstgasversorgungssystemen.- 3.2.1 Mechanismen der Partikelfreisetzung.- 3.2.2 Analyse der physikalischen Phänomene des Partikeltransports.- 3.3 Prüfobjekte und notwendige Prüfrandbedingungen.- 3.4 Betriebsbedingungen in Reinstgasversorgungssystemen.- 3.5 Partikelmeßtechnik.- 3.5.1 Probenahme.- 3.5.2 Partikelzählung.- 3.5.3 Partikelanalyse.- 3.5.4 Erzeugung von Partikelaerosolen.- 4 Anforderungen an das zu entwickelnde Prüfverfahren.- 5 Entwicklung der Prüfaufbauten.- 5.1 Basisprüfauf bauten.- 5.2 Entwicklung der Teilmodule.- 5.2.1 Modul Gasaufbereitung.- 5.2.2 Modul Komponentenaktivierung.- 5.2.3 Modul Meßtechnik.- 5.3 Herleitung testkomponentenspezifischer Prüfaufbauten.- 6. Entwicklung der Prüfmethode.- 6.1 Entwicklung der Standardprüfmethode.- 6.1.1 Entwicklung der einzelnen Prüfphasen.- 6.1.2 Bestimmung der Meßintervalle und Taktfrequenzen.- 6.1.3 Standardprüfabläufe für verschiedene Prüfobjekte.- 6.2 Entwicklung von Sonderprüfungen.- 6.2.1 Ermittlung des optimalen Betriebspunktes.- 6.2.2 Verhalten im Dauerbetrieb.- 6.3 Auswertung und Darstellung der Meßdaten.- 6.3.1 Auswertung.- 6.3.2 Darstellung.- 7. Umsetzung und Erprobung des Verfahrens an ausgewählten praxisbezogenen Anwendungen.- 7.1 Handhabung des Prüfstandes.- 7.1.1 Allgemeine vorbereitende Maßnahmen.- 7.1.2 Inbetriebnahme und Stillegung des Prüfstandes.- 7.2 Ausgewählte praxisbezogene Anwendungen des Prüfverfahrens.- 7.2.1 Qualifizierung und Anwendung in der Qualitätssicherung.- 7.2.2 Anwendung zur Weiterentwicklung von Reinstgasversorgungskomponenten.- 7.2.3 Anwendung zur Bestimmung des optimalen Betriebspunktes.- 7.3 Bewertung der Anwendbarkeit des Verfahrens.- 8. Zusammenfassung und Ausblick.- 8.1 Zusammenfassung.- 8.2 Ausblick.- 9. Schrifttum.