ISBN-13: 9783659646249 / Rosyjski / Miękka / 2014 / 100 str.
Dannaya rabota posvyashchena analizu vliyaniya sostava gazovoy fazy na kinetiku obrazovaniya i gibeli aktivnykh chastits v plazme tleyushchego razryada postoyannogo toka smesi khloristogo vodoroda geliem, a takzhe vyyavlenie vzaimosvyazey mezhdu intensivnostyami izlucheniya i kontsentratsiyami chastits v smesyakh peremennogo sostava. Optimal'noe sochetanie diagnostiki i modelirovaniya plazmy pozvolyaet effektivno reshat' kak nauchno-issledovatel'skie, tak i inzhenernye zadachi, sposobstvuya usileniyu roli plazmennykh protsessov v vysokotekhnologichnykh i naukoemkikh oblastyakh proizvodstva, v tom chisle - v elektronnoy promyshlennosti.
Dannaya rabota posvyashchena analizu vliyaniya sostava gazovoy fazy na kinetiku obrazovaniya i gibeli aktivnykh chastits v plazme tleyushchego razryada postoyannogo toka smesi khloristogo vodoroda geliem, a takzhe vyyavlenie vzaimosvyazey mezhdu intensivnostyami izlucheniya i kontsentratsiyami chastits v smesyakh peremennogo sostava. Optimalnoe sochetanie diagnostiki i modelirovaniya plazmy pozvolyaet effektivno reshat kak nauchno-issledovatelskie, tak i inzhenernye zadachi, sposobstvuya usileniyu roli plazmennykh protsessov v vysokotekhnologichnykh i naukoemkikh oblastyakh proizvodstva, v tom chisle - v elektronnoy promyshlennosti.