Optimierung der Plasmaparameter zur Abscheidung von kubischem Bornitrid in Hohlkatodenbogen

ISBN-13: 9783838617374 / Niemiecki / Miękka / 1999 / 148 str.

Jochen Ulmer

Opis

Inhaltsangabe: Einleitung: Die immer groer werdenden industriellen Anforderungen an die verwendeten Werkstoffe, sowie die Tendenz immer billiger zu produzieren, verlangen nach neuen Herstellungs- und Veredelungsmethoden einerseits, andererseits aber nach immer sparsamerem Einsatz der teuren Ausgangsprodukte. Diese zwei Gesichtspunkte lenkten die Entwicklung in Richtung neuartiger, innovativer Materialien und deren Herstellungsmethoden. Die beiden wichtigsten Vertreter der neuen Materialien sind der Diamant und das kubische Bornitrid, die bisher hartesten bekannten Stoffe. Wurde lange Zeit besonderes Augenmerk auf die Erforschung des Diamants gelegt, so ist seit dem letzten Jahrzehnt eine rasante Entwicklung bei der Untersuchung des kubischen Bornitrids zu beobachten. Es zeigte sich, da es dem Diamant in vielen Eigenschaften wie auergewohnlich hoher Harte, hoher optischer Transparenz sowie chemischer Bestandigkeit ebenburtig ist. In anderen Eigenschaften jedoch, zum Beispiel der hoheren Bestandigkeit gegen Sauerstoff unter Temperatureinwirkung und dem geringeren Verschlei bei der Bearbeitung von Metallegierungen im Vergleich zum Karbidbildner Diamant ist kubisches Bornitrid ihm weit uberlegen. Der wohl wichtigste Vorteil des kubischen Bornitrids ist die Moglichkeit, den Kristall sowohl p- als auch n- zu dotieren. Beim Diamant ist es bis heute nicht gelungen, eine n-Dotierung zu erreichen. Die Bandstruktur des kubischen Bornitrids ermoglicht direkte Ubergange und lat so an die Entwicklung photoaktiver Halbleiterbauelemente fur den UV-Bereich denken. Der groe Bandabstand erlaubt den Einsatz von kubischen Bornitridschichten als Isolatormaterial. Die Beschichtung von Oberflachen, sei es als Verschleischutz (Bohrer, Fraser) oder lediglich als Schutz vor schadlicher Fremdeinwirkung (Glaser, optische Bauteile, Bauteile in chemisch atzenden Umgebungen) ist vor allem in Hinblick auf den vergleichsweise geringen Materialeinsatz (die Schichten mussen lediglich weni