Oberflächenanalytische Charakterisierung Von Metallischen Verunreinigungen Und Oxiden Auf GAAS

ISBN-13: 9783824420919 / Niemiecki / Miękka / 1997 / 138 str.

Frank Schroder-Oeynhausen

Opis

Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen, das es moglich macht, Oberflachenbelegungen auf GaAs mit sehr geringen Konzentrationen quantitativ nachzuweisen."

Spis treści

Materialkunde - Verwendete oberflächenanalytische Methoden - Quantitativer Nachweis von Metallverunreinigungen auf GaAs - Charakterisierung passivierender Oberflächenoxide auf GaAs - Zusammenfassende Diskussion

O autorze

Dr. Frank Schröder-Oeynhausen studierte Physik an der Universität zu Köln und Betriebswirtschaft an der FernUniversität Hagen. Er ist Technologieberater beim VDI in Düsseldorf.

Blurb

Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfläche von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberflächennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es möglich macht, Oberflächenbelegungen auf GaAs mit Konzentrationen kleiner 109 Atome/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen für gezielte Änderungen des Herstellungsprozesses.