Nanorazmernye struktury v ionno-implantirovannyh plenkah Si i GaAs

ISBN-13: 9783659854712 / Rosyjski / Miękka / 2016 / 200 str.

Sardor Donaev; Baltohodzha Umirzakov; Dilnoza Tashmuhamedova

Opis

V knige rassmatrivajutsya processy formirovaniya ul'tratonkih plenok i nanokristallov silicidov metallov na osnove kremniya i arsenida galliya s ispol'zovaniem metoda nizkojenergeticheskoj ionnoj implantacii v sochetanii s otzhigom (temperaturnyj i lazernyj). Izlozheny mehanizmy obrazovaniya nanostruktur, tehnologicheskie marshruty izgotovleniya nanokristallov i nanoplenok, a takzhe vozmozhnye oblasti ih prmeneniya. Kniga rasschitana dlya nauchnyh rabotnikov, doktorantov, magistrantov i studentov, specializirujushhihsya v fizike kondensirovannyh sred i poverhnosti tverdogo tela, fizicheskoj jelektroniki i materialovedeniya.

O autorze

Donaev Sardor Burhanovich - starshij prepodavatel' kafedry "Informacionnye tehnologii v upravlenii". Umirzakov Baltohodzha Ermatovich - doktor fiziko-matematicheskih nauk, professor. Tashmuhamedova Dilnoza Artikbaevna - doktor fiziko-matematicheskih nauk, professor.