Molekularkinetische Deutung Der Wirkungsweise Von Diffusionspumpen

ISBN-13: 9783663031864 / Niemiecki / Miękka / 1969 / 78 str.

Max Wutz

Opis

Auferund von Gultigkeitskriterien wird eezeigt, dass auch auf das Problem der Diffusionspumpe gasdynamische Methoden naherungs weise angewandt werden konnen. Mit den Ergebnissen der gas dynamischen Theorie kann das Verhalten der Diffusionspumpe bei verschiedenen AnsaugdrUcken und teilweise verschlossenen Dusen verstanden werden. Unter Zugrundlegung der gasdynamischen Rechnung wird das Pro blem der tilrUckstromung und des Saugverl'1ogens von Diffusions pumpen behandelt. Dabei wird befriedigende ubereinstimmung zwischen Theorie und Experiment eefunden. 12. LITERATURVERZEICHNIS 1] S. Dushman: Scientific Foundations of Vacuum Technique, New York, 1962 l-l. Vlutz: Theorie und Praxis der Vakuum-Technik Braunschwiig, 1965 VI. Gaede: Ann. Phys. 41, 289, 1913 u d 46, 357, 1915 sowie Z. Techn. Phys. 4, 337, 1923 4] J. Langrn. uir Phys. Rev. 8, 48, 191r; Gen. EI. ev. 10, 1060, 1916; Electr' an 79, 13 und 579, 1917 R. Jaeckel 5 J Zs. Haturforsch 2 A. 666, 1947 und: lleinste Drucke, ihre Messung und Erzeugung Berlin, Gottingen, Heidelberg 1950 6J M. Matricon J. Phys. Rad 2, 86, 1931 und 3, 127, 1932 7J Vgl. z. B. P. Frank und R. v. llises: Differentialgleichungen der Mechanik und Physik Band 11, S. 593, New York und Braunschweig, 1961 73 Vgl. z. B. D. Enskog: Phys. Z. 12, 5 und 33, 1911 8 J oder R. D. Present: Kinetic Theory of Gases, New York, 1958 9] H. G. Noller Zs. fur angew. Physik 7, 225, 1955 10J H. G. Noller Theory of Vacuum Diffusions Pumps in IIandbook of Vacuum Phsics, Vol. I, Part

Spis treści

1. Aufbau, Wirkungsweise und Betriebsverhalten moderner Diffusionspumpen.- 2. Bestehende Erklärungen über die Wirkungsweise von Diffusionspumpen.- 3. Aufgabenstellung.- 4. Excurs über kinetische Gastheorie und Gasdynamik.- 4.1 Kinetische Gastheorie.- 4.2 Gasdynamik.- 4.2.1 Isentrope stationäre rotationsfreie Kontinuumsströmung.- 4.2.1.1 Eindimensionale Strömung.- 4.2.1.2 Ebene Strömung.- 4.2.1.3 Rotationssymmetrische Strömung.- 4.2.1.4 Durchführung der Integration.- 5. Kriterien für die Anwendung der Gasdynamik auf Öldampfströmung.- 5.1 Gültigkeitskriterien für die Kontinuität.- 5.2 Gültigkeit der isentropen Strömung.- 5.3 Kondensationseffekte.- 6. Die Öldampfströmung in der Düse.- 7. Die Öldampfströmung außerhalb der Düse.- 8. Die Ölrückströmung aus dem Dampfstrahl.- 9. Das Saugvermögen.- 9.1 Geschwindigkeitsverteilung der Gasmoleküle im Dampfstrahl.- 9.2 Eine Modellvorstellung.- 9.3 Saugvermögen bei konstanter Moleküldichte an der Strahlgrenze.- 9.3.1 Kinetische Saugvermögensabschätzung.- 9.3.2 Saugvermögensabschätzung nach der Diffusionstheorie.- 9.4 Lösungsansatz für eine genauere Saugvermögensbestimmung.- 10. Schlußbemerkung.- 11. Zusammenfassung.- 12. Literaturverzeichnis.- 13. Liste der benützten Formelzeichen.