Modifikaciya svojstv ITO plenok pri ionno- luchevoj obrabotke

ISBN-13: 9783659682957 / Rosyjski / Miękka / 2015 / 136 str.

Raushaniya Zakirova; Petr Krylov; Irina Fedotova

Opis

Dannaya kniga yavlyaetsya obobshheniem raboty avtorov v ramkah dissertacionnoj raboty Zakirovoj R.M. V knige opisano primenenie oblucheniya nizkojenergeticheskimi ionami dlya modifikacii svojstv tonkih plenok, v chastnosti oxida indiya, legirovannogo olovom. Pokazano, chto ispol'zovanie ionno-luchevoj obrabotki, cheredujushhejsya s processom reaktivnogo VCh magnetronnogo raspyleniya, pozvolyaet poluchat' prozrachnye provodyashhie pokrytiya pri nizkih (25 - 50 °C) temperaturah osazhdeniya

O autorze

Raushaniya Zakirovakand. fiz.-mat. nauk, zashhitila dissertaciju pod rukovodstvom P.N.Krylova i I.V. Fedotovoj rabotaet vedushhim inzhenerom laboratorii rentgenostrukturnogo analiza fiziko-jenergeticheskogo fakul'teta Udmurtskogo gosudarstvennogo universiteta.