Lézerfénnyel vezérelt fémleválasztás folyékony fázisú közegekböl

ISBN-13: 9786202486057 / Węgierski / Miękka / 2018 / 72 str.

Nánai László

Opis

A lézeres folyadékfázisú leválasztás a mikro-és nanoelektronika egyik legeredményesebb technológiai eljárása. Ellentétben a göz/gáz fázisú leválasztással nem igényel bonyolult és költséges vacuum rendszert, s a felhasznált anyagok sem toxikusak. Az eljárás lényege abban áll, hogy a hordozóra felvitt, s a leválasztandó anyagot (fémet) tartalmazó réteg határfelületére fókuszált lézer nyaláb kémiai reakciót indukál, minek következtében a leválasztandó anyag megtapad a hordozó felületén. A lateráls és vertikális feloldás, gyakorlatilag az alkalmazott lézerfény hullámhosszának nagyságrendjébe esik. A "rétegépítés" számos paramétere az alkalmazott lézerparaméterekkel, folytonos, impulzus üzem (lövésszám) hullámhossz, stb könnyen kézben tartható, bizonyos mértékben szabályozható, illetve elöre tervezhetö (tayloring).