Leybold Vakuum-Taschenbuch

ISBN-13: 9783642928437 / Niemiecki / Miękka / 2012 / 366 str.

Kurt Diels; Rudolf Jaeckel

Spis treści

1 Vakuumphysik.- 1.1 Benennungen.- 1.1.1 Formelzeichen.- 1.1.2 Allgemeine Begriffe und Symbole der Vakuumtechnik.- 1.2 Wichtige gaskinetische Formeln und Tabellen.- 1.2.1 Geschwindigkeitsverteilung nach Maxwell.- 1.2.2 Flächen-Stoßhäufigkeit A.- 1.2.3 Gasmasse ? je Zeit- und Flächeneinheit.- 1.2.4 Druck p der Moleküle auf die Wand.- 1.2.5 Mittlere freie Weglänge ?.- 1.2.6 Stoßzahl z.- 1.2.7 Innere Reibung ?.- 1.2.8 Wärmeleitfähigkeit ?.- 1.3 Strömungsvorgänge.- 1.3.1 Strömungswiderstände.- 1.3.1.1 Bei hohen Drücken.- 1.3.1.1.1 Turbulente Strömungen.- 1.3.1.1.2 Laminare Strömungen.- 1.3.1.2 Bei niedrigen Drücken.- 1.3.1.3 Für das gesamte Druckgebiet.- 1.3.1.4 Zusammengesetzte Leitungen.- 1.3.2 Nomographische Darstellung der Vorgänge in Vakuumapparaturen.- 1.3.3 Thermodynamik der Düsenvorgänge und Überschallströmung..- 1.3.3.1 Ausströmung aus Düsen.- 1.3.3.2 Konstruktion der Bilder von ebenen Überschallströmungen.- 1.4 Richtlinien für die Pumpenauswahl.- 1.4.1 Auswahlkriterien für Vor- und Hochvakuumpumpen.- 1.4.2 Wasserringpumpen und Wasser-Dampfstrahlpumpen.- 1.5 Absaugen von Dämpfen.- 1.5.1 Der GasbaUast.- 1.5.2 Kondensoren.- 1.6 Kühlfallen, Dampfsperren (Baffles) und Adsorptionsfallen.- 1.6.1 Kühlfallen für Quecksilber-Treibmittelpumpen.- 1.6.1.1 Kühlfinger.- 1.6.1.2 U-Rohr.- 1.6.1.3 Zwei konzentrische Rohre.- 1.6.1.4 Kugelkühlfalle.- 1.6.1.5 Nachfüllvorrichtung.- 1.6.2 Dampfsperren (Baffles).- 1.6.3 Adsorptionsfallen.- 1.6.3.1 Kupferfalle.- 1.6.3.2 Zeolithfalle.- 1.7 Ionen-Getterpumpen.- 1.8 Vakuummeßinstrumente.- 1.8.1 Grobvakuummeter.- 1.8.1.1 Zeigervakuummeter (Federelastische Druckmesser).- 1.8.1.2 Flüssigkeitsvakuummeter.- 1.8.1.3 Drehbare Kompressionsvakuummeter.- 1.8.2 Feinvakuummeter.- 1.8.2.1 Hochfrequenzvakuumprüfer.- 1.8.2.2 Alphatron (dekadisch).- 1.8.2.3 Kompressionsvakuummeter nach McLeod.- 1.8.2.4 Wärmeleitungsvakuummeter.- 1.8.2.4.1 Pirani-Vakuummeter.- 1.8.2.4.2 Thermoelektrische Vakuummeter.- 1.8.2.4.3 Halbleitervakuummeter (Thermistoren).- 1.8.2.5 Reibungsvakuummeter.- 1.8.3 Hochvakuummeter.- 1.8.3.1 Vakuummeter nach Penning (Philips-Vakuummeter).- 1.8.3.2 Ionisationsvakuummeter.- 1.8.3.3 Radiometervakuummeter.- 1.9 Partialdruckmeßgeräte.- 1.9.1 Omegatron.- 1.9.2 Farvitron.- 1.9.3 Topatron.- 1.9.4 Massenfilter nach Paul und Steinwedel.- 1.10 Undichtigkeiten und Lecksuchgeräte.- 1.10.1 Abpressen unter Wasser.- 1.10.2 Abpinseln mit Nekal oder Erkantol bzw. Seifenlösung.- 1.10.3 Ammoniak plus Ozalidpapier.- 1.10.4 Druckanstiegmethode.- 1.10.5 Mit Vakuummeßinstrumenten.- 1.10.5.1 Wärmeleitungs- oder Reibungsvakuummeter.- 1.10.5.2 Vakuummeter nach Penning (Philips-Vakuummeter) oder Ionisationsvakuummeter (Triode) normaler Bauart.- 1.10.5.3 Ionisationsvakuummeter nach Bayard-Alpert.- 1.10.6 Mit Vakuummeter nach Penning bzw. Ionisationsvakuummeter normaler Bauart mit Palladium-Trennwand und Testgas Wasserstoff.- 1.10.7 Halogenlecksucher.- 1.10.8 Mit Partialdruckmeßgeräten.- 1.10.8.1 Massenspektrometer der Bauart Omegatron.- 1.10.8.2 Massenspektrometer der Bauart Farvitron.- 1.10.8.3 Massenspektrometer der Bauart Topatron.- 1.10.8.4 Massenspektrometer der konventionellen Bauart.- 1.10.8.5 Massenfilter nach Paul und Steinwedel.- 1.11 Ultrahochvakuumtechnik.- 1.11.1 Vorbedingungen für die Erzeugung von Ultrahochvakuum.- 1.11.2 Druckmessung.- 1.11.2.1 Mit Bayard-Alpert-Röhre.- 1.11.2.2 Mit Magnetronvakuummeter.- 1.11.2.3 Flash-filament-Methode.- 1.11.3 Die Erzeugung von Ultrahochvakuum.- 1.11.3.1 In Glasapparaturen.- 1.11.3.2 In Metallapparaturen.- 1.11.3.3 Adsorptionsfallen.- 1.11.3.4 Getter.- 1.11.3.5 Tiefkühlung (Kryopumpen).- 1.11.4 Bauelemente.- 1.11.4.1 Flanschverbindungen.- 1.11.4.2 Ventile.- 1.11.4.3 Beobachtungsfenster.- 2 Vakuumtechnik.- 2.1 Vakuumzubehör.- 2.1.1 Rohrleitungen.- 2.1.2 Starre Verbindungen.- 2.1.2.1 Bauelemente mit Einheitsflanschen.- 2.1.2.2 Bauelemente mit Kleinflanschen.- 2.1.3 Bewegliche Verbindungen.- 2.1.4 Ventile.- 2.1.5 Hähne und Schliffe.- 2.1.6 Durchführungen.- 2.1.6.1 Drehdurchführungen.- 2.1.6.2 Stromdurchführungen.- 2.1.7 Dichtungsringe.- 2.1.7.1 MetaUdichtungen.- 2.1.7.2 Gummidichtungen.- 2.2 Hochvakuumverfahrenstechnik.- 2.3 Werkstoffe, Dampfdrücke, Siedepunkte, Schmelzpunkte, Gasdurchlässigkeit usw.- 2.3.1 Werkstoffe.- 2.3.1.1 Werkstoffprüfung.- 2.3.1.2 MetaUe.- 2.3.1.3 Glas und Quarz.- 2.3.1.4 Glimmer.- 2.3.1.5 Keramische Werkstoffe.- 2.3.1.6 Kunststoffe.- 2.3.1.7 Naturgummi.- 2.3.1.8 Öle und Fette.- 2.3.2 Dampfdrücke, Schmelz- und Siedepunkte.- 2.3.3 Gasdurchlässigkeit und Diffusion bei Quarz und Glas.- 2.4 Gasabgabe und Getterung.- 2.4.1 Gasabgabe von festen Stoffen.- 2.4.2 Gasabgabe von hochsiedenden Flüssigkeiten.- 2.4.3 Gasaufzehrung durch Getter.- 2.4.4 Verdampfung, Kondensation, Sublimation.- 2.5 Anwendungsgebiete.