ISBN-13: 9783659407420 / Rosyjski / Miękka / 2013 / 92 str.
Rassmotreny printsipy postroeniya mikromekhanicheskikh zerkal i ustroystv obrabotki signalov emkostnykh preobrazovateley peremeshcheniy. Predstavleny razrabotannye metody postroeniya mikromekhanicheskikh zerkal s krestoobraznym i integrirovannym vnutrennimi podvesami, uravneniya dvizheniya zerkal'nykh elementov i modeli dlya rascheta zhestkostey uprugikh podvesov predlozhennykh ustroystv. Predlozhen metod proektirovaniya mikromekhanicheskikh zerkal.
Rassmotreny printsipy postroeniya mikromekhanicheskikh zerkal i ustroystv obrabotki signalov emkostnykh preobrazovateley peremeshcheniy. Predstavleny razrabotannye metody postroeniya mikromekhanicheskikh zerkal s krestoobraznym i integrirovannym vnutrennimi podvesami, uravneniya dvizheniya zerkalnykh elementov i modeli dlya rascheta zhestkostey uprugikh podvesov predlozhennykh ustroystv. Predlozhen metod proektirovaniya mikromekhanicheskikh zerkal.