Fertigung Von Mischlosen in Der Mikroelektronik Auf Der Basis Eines Verfahrens Zur Verfolgung Von Einzelscheiben

ISBN-13: 9783540635635 / Niemiecki / Miękka / 1997 / 123 str.

Olaf Herzog

Spis treści

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Flexible Halbleiterfertigung.- 2.3 Fertigungsgeräte und Materialfluß.- 2.3.1 Losdefinition und Materialfluß auf Geräteebene.- 2.3.2 Geräteinterner Materialfluß.- 2.4 Informationsverarbeitung in der Fertigung.- 2.4.1 Informationssysteme auf operativer Ebene.- 2.4.2 Werkstattsteuerung.- 3 Einflüsse auf die wirtschaftliche Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.1 Einfluß der Prozeßtechnik.- 3.2 Einfluß der Gerätetechnik.- 3.3 Einfluß der Werkstattsteuerung.- 3.4 Einfluß von Informationssystemen auf operativer Ebene.- 3.5 Lösungsansätze zur wirtschaftlichen Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.6 Zusammenfassung der Untersuchungsergebnisse.- 4 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte.- 4.1 Anforderungen an das Verfahren zur Mischlosbildung.- 4.2 Anforderungen an ein System zur Einzelscheibenverfolgung.- 5 Konzeption eines Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.1 Modellierung der operativen Ebene.- 5.1.1 Modell des Loses.- 5.1.2 Fertigungsgerät.- 5.1.3 Arbeitsablauf am Fertigungsgerät.- 5.1.4 Randbedingungen für die Bewertung des Nutzens.- 5.2 Arbeitsprinzip der Mischlosverwaltung.- 5.2.1 Ein-/Ausgangsgrößen für die Mischlosbildung.- 5.2.2 Algorithmus zur Mischlosbildung.- 5.2.3 Basisregelsystem für die Mischlosgründung.- 5.2.4 Basisregelsystem für die Mischlostrennung.- 5.3 Aufbaustruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.3.1 Abbildung der Mischlose.- 5.3.2 Abbildung von Monitorscheiben.- 5.4 Ablaufstruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.4.1 Ablauf von Mischlosbildung und -trennung.- 5.4.2 Gesamtablauf.- 5.5 Funktionale Defizite auf operativer Ebene.- 6 Entwicklung eines Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 6.1 Materialverwaltung.- 6.1.1 Prüfung der Arbeitsplandaten vor Bearbeitung eines Mischloses.- 6.1.2 Aktualisieren von Loshistorie und Gerätehistorie.- 6.1.3 Interne Struktur der Materialverwaltung.- 6.2 Umhordetechnik.- 6.2.1 Be-/Entladevorgang.- 6.2.2 Umhordeprozeduren.- 6.3 Schnittstelle zur Identifikation.- 6.3.1 Übertragungsart.- 6.3.2 Kennzeichnung und Laufkarte.- 6.4 Schnittstelle zur Gerätetechnik.- 6.4.1 Bearbeitung von Mischlosen.- 6.4.2 Bedienerunterstützung am Gerät.- 6.5 Schnittstelle zur Werkstattsteuerung.- 6.5.1 Abbildung von Mischlosen in der Werkstattsteuerung.- 6.5.2 Ausführung der Schnittstelle.- 6.5.3 Einzelscheibenverfolgung als Teil der Werkstattsteuerung.- 6.6 Systemstruktur.- 6.6.1 Funktionsaufteilung auf operativer Ebene.- 6.6.2 Systemkomponenten und Werkzeuge für die Realisierung.- 7 Realisierung und Erprobung.- 7.1 Vorversuche zum Verfahren zur Mischlosbildung.- 7.2 Realisierung des Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 7.2.1 Randbedingungen.- 7.2.2 Entwurf der Architektur und Realisierung.- 7.2.3 Erprobung.- 7.3 Diskussion der Ergebnisse.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literatur.