Entwicklung eines mikromechanischen Strahlablenksystems für Laser-Projektions-Displays

ISBN-13: 9783739209197 / Niemiecki / Miękka / 2015 / 308 str.

Ulrich Hofmann

Opis

Diese Dissertation behandelt die Entwicklung eines zweiachsigen vakuum-gekapselten MEMS-Spiegels fur den Einsatz in kompakten Laser-Projektions-Displays. Diese Miniatur-Laser-Projektoren sind u.a. von Bedeutung fur Head-Up-Displays, Armaturenbrett-Displays und neuartige Scheinwerfer-Systeme im Automobil. Daruber hinaus eignen sie sich durch ihre geringe Baugrosse fur die Integration in Konsumer-Produkte wie Smartphones, Tabletts, Datenbrillen und Digitalkameras. Mit einer Scanfrequenz von uber 36 kHz ermoglichen die im Rahmen dieser Arbeit entwickelten hermetisch gekapselten 2D-MEMS-Spiegel Laser-Video-Projektion mit HD720 Auflosung. Die MEMS-Spiegel werden kostengunstig zu hunderten parallel auf 200 mm Wafern aus Silizium gefertigt und zeichnen sich neben ihrer extrem geringen Baugrosse durch eine sehr geringe Leistungsaufnahme aus."

O autorze

Ulrich Hofmann ist wissenschaftlicher Mitarbeiter des Fraunhofer Instituts für Siliziumtechnologie ISIT in Itzehoe und leitet dort seit 1995 die Entwicklung optischer Mikrosysteme.