Die Kombination Von Plasmanitrierung Und Plasmagestützter Schichtabscheidung Aus Der Gasphase (Pacvd) in Einem Verfahrensablauf

ISBN-13: 9783540645672 / Niemiecki / Miękka / 1998 / 147 str.

Oliver Morlok

Opis

Die vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut fiir Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (IFF) und am Fraunhofer-Institut fur Produktionstechnik und Automatisierung (IP A), Stuttgart. Zum Dank fur den Ruckhalt wahrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Familie. Fur ihre Unterstutzung und ihr Verstandnis danke ich ganz besonders meiner Frau Nicola. Mein Dank gilt Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. E. Westkamper fur die grosszugige Unterstutzung und Forderung meiner Arbeit sowie Herrn Prof. Dr. rer. nat. R. Gadow fiir die Ubernahme des Koreferates und die konstruktive Durchsicht der Arbeit. Daruber hinaus danke ich allen Mitarbeitern des Instituts, die mich in zahlreichen Diskussionen mit Anregungen und Kritik sowie durch ihre Mitarbeit unterstutzt haben. Mein besonderer Dank gilt den Herren Dr. K. Melchior, Dr. G. Kampschulte, Dipl.-Ing. (FH) T. Bolch, Dr.-Ing. D. Mann, Dipl.-lng. P. Markschlager, Dipl.-lng. T. Lux, Dipl.-Phys. M. Ecke , Dipl.-lng. A. Scheibe und Dipl.-lng. J. Stadlbauer. Des weiteren danke ich Herrn Dr.-Ing. W. Osterle von der Bundesanstalt fur Materialforschung und -Prufung (BAM) in Berlin fur die Durchfuhrung der TEM- und SAD-Untersuchungen sowie Herrn Dipl.-Ing. D. Scherer vom Institut fur Fertigungstechnologie keramischer Bauteile (IFKB) der Universitat Stuttgart fur die Durchfuhrung der Rauheitsuntersuchungen. Ebenso danke ich Herrn Dipl.-Phys. R. Reiche vom Institut fur Festkorperanalytik und Strukturforschung (IFS) des IFW Dresden fur die Durchfuhrung der WDX-Untersuchungen

Spis treści

1 Einleitung.- 2 Stand der Technik.- 3 Physikalische und physikalisch-chemische Grundlagen der Plasmabeschichtung.- 4 Versuchsaufbau zur Schichtherstellung.- 5 Herstellung und Eigenschaften der Schichten.- 6 Anwendungen.- 7 Zusammenfassung.- 8 Literatur.