ISBN-13: 9783639100297 / Niemiecki / Miękka / 2009 / 88 str.
ISBN-13: 9783639100297 / Niemiecki / Miękka / 2009 / 88 str.
Die ursprünglich als Diplomarbeit verfasste Schriftbeschreibt den Aufbau eines preiswerten Messplatzeszur optischen Charakterisierung vondiffraktiv-optischen Mikrostrukturen. Es wird indiesem Rahmen ein kompletter Messplatz konzeptioniertund sein Aufbau dokumentiert. Dem zu Grunde liegendwird zunächst die Fraunhofer-Beugung am linearenBinärgitter und Bestimmung der Strukturtiefe aus demBeugungsbild erläutert. Es wird auf das optischeMessprinzip samt Beispielmessungen eingegangen.Besondere Beachtung findet die Darstellung derImplementierung des Messplatzes. Dies führt von derKonzeptionierung über die Konstruktion bis hin zurAuswertung mit dem Programm LabVIEW 8.2.