ISBN-13: 9783848460472 / Hiszpański / Miękka / 2012 / 120 str.
En este trabajo de investigacion se crecieron peliculas de nitruro de carbono CNx utilizando un sistema magnetron sputtering r.f. (13.6 MHz), sobre sustratos de cloruro de sodio, acero y Silicio (100) a partir de un blanco de carbono pirolitico (99.999%), utilizando diferentes concentraciones de N2/Ar en la mezcla de gas. La composicion y los enlaces quimicos de las peliculas se estudiaron mediante espectroscopia fotoelectronica de rayos - X (XPS) y espectroscopia de infrarrojo (IR). La morfologia superficial de los recubrimientos se examino por microscopia de fuerza atomica AFM. La dureza y el modulo de elasticidad de las peliculas se determinaron a partir de analisis de nanoindentacion, se midieron durezas de 25 GPa. Los datos experimentales se complementaron con calculos teoricos, utilizando el codigo de Car-Parrinello Molecular Dynamics (CPMD), este es un codigo de ondas planas que resuelve ecuaciones de Kon-Sham bajo la aproximacion de pseudopotenciales, con ellos se determino la estructura cristalina y sus parametros de red, la estructura de bandas, la vibracion de los fonones y algunas constantes elasticas de la fase BC3N4.
En este trabajo de investigación se crecieron películas de nitruro de carbono CNx utilizando un sistema magnetrón sputtering r.f. (13.6 MHz), sobre sustratos de cloruro de sodio, acero y Silicio (100) a partir de un blanco de carbono pirolítico (99.999%), utilizando diferentes concentraciones de N2/Ar en la mezcla de gas. La composición y los enlaces químicos de las películas se estudiaron mediante espectroscopia fotoelectrónica de rayos - X (XPS) y espectroscopía de infrarrojo (IR). La morfología superficial de los recubrimientos se examinó por microscopía de fuerza atómica AFM. La dureza y el modulo de elasticidad de las películas se determinaron a partir de análisis de nanoindentación, se midieron durezas de 25 GPa. Los datos experimentales se complementaron con cálculos teóricos, utilizando el código de Car-Parrinello Molecular Dynamics (CPMD), este es un código de ondas planas que resuelve ecuaciones de Kon-Sham bajo la aproximación de pseudopotenciales, con ellos se determinó la estructura cristalina y sus parámetros de red, la estructura de bandas, la vibración de los fonones y algunas constantes elásticas de la fase BC3N4.