Optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern

ISBN-13: 9783734783869 / Niemiecki / Miękka / 2015 / 184 str.

Michael Quinten

Opis

Dunne Schichten von transparenten oder halbtransparenten Materialien spielen eine wichtige Rolle in unserem Leben. So wird einerseits eine Vielzahl von Farben in der Natur durch Interferenz von Licht hervorgerufen, das an dunnen, transparenten Schichten reflektiert wird. Andererseits begegnen wir taglich meistens unbewusst einer Vielzahl technischer Anwendungen dunner Filme. Daher ist es in unserem Interesse, so viel Information wie moglich uber Schichten und Beschichtungen zu erhalten. Die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ist eine schnelle, zerstorungs- und beruhrungslose Methode zur Bestimmung der Dicke dunner Schichten, die sogar zur In-Prozess Kontrolle von Schichtdicken verwendet werden kann. Dieses Buch fuhrt in die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ein und beleuchtet die Einflusse von Dispersion, Absorption und Substrat auf die Bestimmung der Schichtdicke. Desweiteren werden Messaufbau, Messgrossen, Berechnungsmodelle und Auswertemethoden vorgestellt und bewertet."

O autorze

Michael Quinten works as Head of R&D Sensors at FRT GmbH in Bergisch Gladbach, Germany. During his academic period from 1983 to 2000 he obtained his diploma degree and Ph. D. in physics at the University of Saarland, Saarbruecken, Germany, and joined the Technical University RWTH Aachen for habilitation. In 2001 he joined the ETA-Optik GmbH, Germany, where he first worked in research and development of integrated optics components and later became product manager in the Colour and Coatings Division. In 2007 he moved to FRT GmbH where he is responsible for the optical sensor technology division.Based on comprehensive knowledge in solid state physics, nanomaterials, and optical sensor technology, he authored more than 50 scientific publications with several topics and three books.