ISBN-13: 9783734783869 / Niemiecki / Miękka / 2015 / 184 str.
Dunne Schichten von transparenten oder halbtransparenten Materialien spielen eine wichtige Rolle in unserem Leben. So wird einerseits eine Vielzahl von Farben in der Natur durch Interferenz von Licht hervorgerufen, das an dunnen, transparenten Schichten reflektiert wird. Andererseits begegnen wir taglich meistens unbewusst einer Vielzahl technischer Anwendungen dunner Filme. Daher ist es in unserem Interesse, so viel Information wie moglich uber Schichten und Beschichtungen zu erhalten. Die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ist eine schnelle, zerstorungs- und beruhrungslose Methode zur Bestimmung der Dicke dunner Schichten, die sogar zur In-Prozess Kontrolle von Schichtdicken verwendet werden kann. Dieses Buch fuhrt in die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ein und beleuchtet die Einflusse von Dispersion, Absorption und Substrat auf die Bestimmung der Schichtdicke. Desweiteren werden Messaufbau, Messgrossen, Berechnungsmodelle und Auswertemethoden vorgestellt und bewertet."