Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung : Entwicklung eines dynamischen Clustertool-Simulators

ISBN-13: 9783639067804 / Niemiecki / Miękka / 2008 / 104 str.

Matthias Becker

Opis

Clustertools werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt bei der Her stellung von integrierten Schaltungen auf Siliziumscheiben (Wafern). Ein Clustertool besteht aus mehreren Prozesskammern, in denen je weils ein Prozessschritt an einem Wafer durchgeführt werden kann. Da bei kann ein Wafer mehrere Kammern nacheinander durchlaufen, und für einen Prozessschritt können mehrere identische Kammern vor handen sein. Zwischen den Kammern werden die Wafer von Robotern transportiert. Der Autor Matthias Becker hat in seiner Master's Thesis einen Simulator entwickelt, der den Fluss der Wafer durch ein Clus tertool nachvollzieht. Schwerpunkte dieser Arbeit sind die Vermeidung von Deadlocks und eine begrenzte Vorausschau für Transporte. Steu erungsregeln für die parallele Bearbeitung von Wafern verschiedener Lose werden entwickelt und deren Leistungsfähigkeit analysiert. Die Clustertool-Simulation ist mit einer Schnittstelle zu einer Simulation einer ganzen Halbleiter-Fabrik ausgestattet, deren Funktionalität er probt wird. Das Buch richtet sich sowohl an Informatiker als auch an Inge nieure (insbesondere im Industrial Engineering), die in der Halb leiterfertigung arbeiten.

O autorze

Becker, Matthias Matthias Becker, Dipl.-Phys., M. Appl. Inf.: Studium der Physik und der Angewandten Informatik an der TU München. Anwendungsentwickler bei der Siltronic AG, Burghausen.