Rutherford-Rückstreu-Analysen Mit Protonen

ISBN-13: 9783531029993 / Niemiecki / Miękka / 1980 / 81 str.

Hans Mommsen

Opis

Die Rutherford-Ruckstreu-Analyse gehOrt heute zu den Standa- verfahren in der Untersuchung VOn Oberflachenschichten. Ihre Fahigkeit der Tiefenrnikroskopie mit einer Tiefenauflosung von einigen 100 A wird vor allem zu Materialuntersuchungen in der Halbleitertechnologie und der Kernenergietechnologie genutzt. Das starke Interesse, das diese Methode gefunden hat, lasst es wunschenswert erscheinen, diese deutschsprachige Beschreibung zu veroffentlichen. Obwohl hier speziell die Verwendbarkeit der Ruckstreuung zu Analysezwecken bei kleinen Energien, wie sie von Niederenergiebeschleunigern geliefert werden, unt- sucht wird, wurde diese Arbeit so verfasst, dass sie auch als allgemeine Einfuhrung in die Methode verstanden werden kann. Ihr liegt die Diplomarbeit von Herrn A. Weller zugrunde, der den elektrostatischen Analysator gebaut sowie das Spektrensimu lationsprogramm geschrieben hat (Institut fur Strahlen- und Ke- physik, Bonn, 1979). - 3 - Zusammenfassung Die Methode der Rutherford-Ruckstreuung (RBS) erlaubt es, quan titative Analysen dunner Folien und Oberflachenanalysen mit hoher Empfindlichkeit und guter Genauigkeit durchzufuhren. Zusatzlich wird Information uber die Elementverteilung in einer Probe in Abhangigkeit von der Tiefe unter der Oberflache erhal ten. Besonders diese Moglichkeit der Tiefenprofilmessung zeich net die RBS vor anderen physikalischen Analysemethoden a

Spis treści

Zusammenfassung.- I. Einleitung.- II. Rutherford-Rückstreuung.- 1. Theoretische Grundlagen.- 2. Erklärung der Rückstreuspektren.- 3. Lineare Näherung für dünne Targets.- 4. Höhe des Energiespektrums.- III. Experimenteller Aufbau.- 1. Allgemeine Bedingungen, Strahl und Streukammer.- 2. Meßelektronik.- 3. Elektrostatischer Analysator (ESA).- a) Theoretische Grundlagen.- b) Praktische Ausführung.- c) Abschätzung der Zählrate im ESA.- d) Energieauflösung des ESA.- IV. Spektrensimulation per Rechenmaschine.- 1. Programmbeschreibung.- 2. Schematische Gliederung des Programms.- 3. Berücksichtigung der Detektorauflösung.- 4. Simulation inhomogener Targets.- V. Anwendungsbeispiele und Diskussion einiger Spektren.- 1. Dickenbestimmung dünner Folien.- 2. Dickenbestimmung von Oberflächenverunreinigungen.- 3. Analyse und Tiefenprofile dünner Schichten.- 4. Quantitative Analyse homogener Gemische.- VI. Schlußbetrachtung.- Bilderverzeichnis.

O autorze

Hans Mommsen, geboren 1930, war 1961 bis 1963 Referent am Institut für Zeitgeschichte in München und ab 1968 Professor für Neuere Geschichte in Bochum. Nach seiner Emeritierung 1996 hielt er sich u.a. als Gastwissenschaftler am United States Holocaust Memorial Museum in Washington auf. Er war Mitglied im wissenschaftlichen Beirat der "Ausstellung Verbrechen der Wehrmacht. Dimensionen des Vernichtungskriegs 1941-1944". Hans Mommsen verstarb im November 2015.