Au cours de ce travail, nous avons analysA(c) et A(c)tudiA(c) le phA(c)nomA]ne de dA(c)cohA(c)sion des films minces de leurs substrats. Utilisant le Microscope A Force Atomique (AFM) couplA(c) avec une micromachine de dA(c)formation, nous avons: - DA(c)tectA(c) et observA(c) les premiers stades de dA(c)collement d'un film mince d'acier inoxydable 304 L A(c)laborA(c) par pulvA(c)risation ionique sur un substrat de polycarbonate, - DA(c)terminA(c) la valeur de la contrainte critique qui dA(c)clenche ce phA(c)nomA]ne, - MontrA(c) que le phA(c)nomA]ne de dA(c)collement est bien liA(c) aux...