Un estudio mediante tecnicas de analisis de superficies dos sistemas de interes nanotecnologico: Peliculas ultradelgadas de Fluoruro de aluminio y Silicio nanoporoso. El primero es un aislador, tecnologicamente util como resina electrolitografica, que permite la fabricacion de peliculas de espesor nanometrico. Durante los procedimientos usuales de fabricacion de dispositivos "top-down" el bombardeo ionico y electronico que se utiliza para producir patrones, puede afectar la resina debido a la produccion de electrones secundarios. Por otra parte el silicio nanoporoso es un material compuesto...