Die Arbeit hat die theoretischen Untersuchungen zu einer vakuumtauglichen Walzfuhrung fur den Einsatz in einem planaren Positioniersystem zum Inhalt. Vakuumbedingungen werden fur die Fertigungsprozesse der Halbleiterindustrie und fur die Reduzierung der Storeinflusse auf die Messergebnisse benotigt. Das planare Positioniersystem basiert auf einem elektromagnetischen Direktantrieb. Daher werden die Werkstoffe fur den Einsatz in einer Vakuumumgebung, unter starken elektromagnetischen Feldern und einer Walzbeanspruchung gewahlt. Die planare Walzfuhrung besteht aus zwei Funktionsflachen mit...